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曝光機
主要參數

1. 設備功能:按制程要求在玻璃基板之感光膜上通過掩膜曝光產生感光圖案,為下一步圖案顯影作準備

2. 設備外形尺寸:(L)2000×(W)1765×(H)2200mm

3. 重量:1200Kg

4. 基板尺寸: 470X370mm(寬度方向為370mm)

5. 基板厚度: 0.4~1.1mm

6. 曝光精度: ±0.03mm

7. 寬線距范圍 :±10um

8. 平臺平面度: ±0.02mm

9. GAP重復精度: ±10μΜ

10. 曝光燈散布均勻性: >90%以上(測25點,計算公式:小值/[敏感詞]值)

11. 自動MARK對位: 自動對位

12. 曝光光強度: 35mw/cm2以上

13. 曝光燈類型: 平行曝光燈

14. 生產效率: 20s/pcs(100mj)

15. 平臺材質: 硬鋁合金,表面黑色硬質氧化

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